웨이퍼용 고정밀 적외선 센서

리소그래피 공정에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계에서 포토레지스트의 특성이 결정됩니다. 온도가 2°C만 변해도 Ttop 값은 20nm나 변할 수 있으며, 이러한 변동은 전체 웨이퍼에 걸쳐 선폭의 변화로 나타납니다. 따라서 정확하게 측정하고 반복적으로 확인할 수...