적외선 가열을 활용한 반도체 제조 과정에서의 탄소 배출 감소 반도체를 제조할 때는 정밀한 제어가 필수적입니다. 열을 정확하게 조절해야 하며, 웨이퍼에 먼지나 이물질이 달라붙는 것을 막아야 합니다. 오랫동안 사용되어 온 방식은 대류식 오븐이었습니다. 하지만 솔직히 말해...

클린룸에서의 적외선 경화 기술 활용하기 반도체 클린룸에서 작업할 때는 물건들을 건조시키거나 경화시켜야 합니다. 하지만 크고 강력한 열선을 사용하거나 화학 용매를 곳곳에 뿌리는 것은 불가능합니다. 이때 적외선 램프가 유용하게 사용됩니다. 강제 공기 순환을 통해 방 전체...

그 멋진 환경 속을 걸어보면, 베이킹 과정에서 문제가 생길 때 그 변화를 느낄 수 있습니다. 포토레지스트의 상태가 변하고, CD의 균일성도 저하됩니다. 또한, 제조 과정에서는 원하는 결과를 얻기보다는 오히려 불량품이 생기게 됩니다. 클린룸 내의 장비 업그레이드는 단순...