Dalam proses litografi, proses “soft bake” dan “hard bake” merupakan langkah-langkah di mana profil fotorezist ditetapkan. Perubahan suhu sebanyak 2°C boleh menyebabkan perubahan Ttop sebanyak 20 nm. Perubahan ini akan menyebabkan variasi lebar garis pada permukaan wafer. Oleh itu, kawalan suhu yang tepat sangat penting agar bacaan yang diperoleh dapat diukur, diulang, dan direkod dengan tepat.
Apa yang penting di balik semua ini
Kami membangunkan sensor inframerah yang tepat dengan menggunakan pemancar NIR yang stabil serta pengesan yang telah dikalibrasi dengan baik. Dengan cara ini, keseragaman suhu pada peringkat wafer dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C semasa proses pembakaran. Sensor tersebut boleh dimasukkan ke dalam ruang pembakaran yang sempit, dan komponen optiknya dilindungi daripada pelepasan gas, sehingga bacaan yang diperoleh tetap konsisten dalam bilik bersih kelas 1–100. Pengeluaran zarah-zarah yang tidak diinginkan dapat dielakkan dengan menghindari penggunaan komponen yang berputar serta memastikan aliran cahaya yang konsisten. Repetibiliti output sensor kekal dalam lingkungan 0.1% sepanjang masa, jadi proses pembakaran dapat berjalan tanpa memerlukan penyesuaian semula.
Mengapa ia penting dalam proses pembakaran
Proses pembakaran fotorezist memerlukan kawalan suhu yang ketat. Sensor ini memastikan suhu tetap stabil pada setiap bahagian wafer, sehingga kawalan dimensi yang kritikal dapat dilakukan dengan lebih baik. Ini seterusnya mengurangkan jumlah kerja ulang yang diperlukan. Selain itu, proses pembakaran dapat dilakukan dengan lebih efisien tanpa mengorbankan kelajuan proses. Jumlah bahan buangan juga berkurangan kerana sebarang penyimpangan suhu dapat dikesan dengan cepat. Kestabilan peralatan juga meningkat, sehingga berlaku kurang amaran palsu dan intervensi yang tidak diperlukan. Hasilnya ialah kadar pengeluaran yang lebih tinggi serta masa yang lebih singkat untuk menyelesaikan satu kitaran proses.
Apa yang perlu dilakukan dengan betul
Pemasangan sensor ini memerlukan penyesuaian yang tepat terhadap bukaan oven serta nilai emisiviti fotorezist. Jika hal ini tidak dilakukan dengan betul, bacaan yang diperoleh akan tidak tepat. Kami menyediakan kit kalibrasi yang sesuai untuk jenis film yang biasa digunakan, namun untuk jenis film yang baru, mungkin diperlukan proses kalibrasi sekali sahaja. Lakukan penyesuaian singkat untuk menyambungkan sensor tersebut ke sistem kawalan oven dan memastikan aliran cahaya yang tepat. Setelah itu, sistem dapat beroperasi dengan minimum penyelenggaraan.