Na área de litografia, os processos de tratamento térmico suave e intenso são os responsáveis por definir o perfil do fotorelativo. Uma variação de 2°C pode causar uma mudança de 20 nm no valor Ttop. Essa variação se manifesta como alterações na largura das linhas nas peças produzidas. É necessário ter um controle preciso da temperatura, capaz de ser medido, repetido e acompanhado.
O que é importante por trás disso tudo Criamos o sensor infravermelho de alta precisão com base em um emissor de luz NIR estável e em um detector calibrado. Isso permite que a uniformidade térmica nas placas de silício fique entre ±0,1°C durante o processo de tratamento térmico. A cabeça do sensor se encaixa perfeitamente nas aberturas dos fornos, e suas lentes são seladas para evitar a entrada de gases, o que garante leituras consistentes em salas limpas de classe 1–100. A ausência de partículas não é apenas um slogan: ela é obtida através da eliminação de partes móveis e da manutenção de um alinhamento preciso. A repetibilidade das medições fica dentro de 0,1%, o que permite que os processos continuem funcionando sem necessidade de recalibração constante.
Por que isso é importante nos fornos de tratamento térmico Os processos de tratamento térmico do fotorelativo exigem controle rigoroso da temperatura. Esse sensor mantém o ponto de referência constante em toda a placa de silício, o que melhora o controle das dimensões críticas e reduz a necessidade de retrabalho. Isso permite expandir o intervalo de operação sem comprometer a produtividade. Além disso, as devoluções de produtos diminuem, já que as desvios são detectados imediatamente. A estabilidade do equipamento também melhora – há menos alarmes falsos e menos intervenções não planejadas. O resultado é uma maior taxa de produção e tempos de ciclo mais previsíveis.
O que é necessário para que tudo funcione corretamente A instalação depende da adequação da abertura do forno e da configuração correta da emissividade do fotorelativo. Se isso não for feito corretamente, as leituras serão imprecisas. Enviamos um kit de calibração adaptado aos filmes mais comuns, mas novos materiais podem precisar de uma calibração inicial. É necessário fazer uma pausa breve no processo para conectar o sensor ao controlador do forno e alinhar o feixe de luz. Uma vez configurado, o sistema funciona com mínimo de manutenção.