Elemento de aquecimento para processos de litografia de cozimento suave
No chão de fábrica de 300 mm, o processo de “soft bake” não é apenas um procedimento de aquecimento inicial. Trata-se do primeiro passo no controle...
Lâmpada para forno de litografia de semicondutores
Em uma fábrica que funciona 24 horas por dia, o processo de secagem do fotorestrito não é apenas mais um passo na produção. É o fator decisivo entre...
Peça de reposição para lâmpada de litografia da ASML
Na linha de produção, o orçamento térmico para cada lote de produtos é definido com precisão. Se a potência da lâmpada variar ou a temperatura de...