Pare de esperar que o ar se aqueça: Por que mudamos para lâmpadas de infravermelho revestidas com ouro
Se você já utilizou sistemas de circulação de ar quente, sabe como funciona. Você aquece o ar e espera que ele transmita o calor para a peça a ser processada. No processamento avançado de semicondutores, esse “intermediário” – o ar – acaba sendo um obstáculo. Ele causa um atraso irritante que retrai todo o processo.
Decidimos eliminar esse intermediário. Em vez de aquecer o ar, usamos lâmpadas duplas revestidas com ouro. Elas emitem energia radiante diretamente no substrato. Sem espera. Sem perda de tempo.
O segredo está no ouro
Os tubos de quartzo convencionais funcionam, mas perdem energia. A energia se dispersa pelos lados do tubo. Para resolver isso, aplicamos uma camada de ouro no interior do tubo externo. Pense nisso como um espelho de alta qualidade: ele reflete toda a radiação infravermelha diretamente na peça a ser processada.
Além disso, ao usar dois filamentos num mesmo espaço pequeno, conseguimos maior densidade de calor. Não é preciso aumentar o tamanho da lâmpada para obter mais poder; basta torná-la mais eficiente.
Pare de perder suas tardes
Os sistemas de ar quente são lentos. Quando você muda a temperatura, precisa esperar que toda a câmara se adapte. É frustrante.
Já as lâmpadas de infravermelho funcionam imediatamente. Basta ligar o dispositivo, e os fótons atingem o alvo imediatamente. Para nós, que trabalhamos com wafer ou peças de precisão, isso reduz o tempo de processamento em 30% a 60%. Você não perde mais minutos com essas fases de aquecimento e resfriamento intermináveis.
As desvantagens (porque sempre existem algumas)
Veja bem: não se trata de uma solução mágica que pode ser aplicada em qualquer máquina.
Primeiro, as lâmpadas de infravermelho de alta densidade causam grande carga sobre o fornecimento de energia. É preciso garantir que os controladores consigam lidar com esse aumento súbito de corrente.
Além disso, como o revestimento de ouro é muito eficaz em concentrar o calor, é fácil exceder o limite desejado se o ajuste do PID não for feito corretamente. Também é importante prestar atenção à distância entre a lâmpada e a peça a ser processada – se errar, haverá pontos superaquecidos.
Meu conselho? Conecte essas lâmpadas a um sistema de controle por zonas. Isso permite um controle mais preciso da distribuição do calor, o que é essencial para o processamento avançado.