ในกระบวนการผลิตที่มีความยาวคลื่น 300 มม. การควบคุมความหนาของเส้นสายนั้นขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพของการอบแห้ง หากอุณหภูมิในบริเวณที่ใช้อบแห้งเปลี่ยนแปลงไปเพียง 2 องศาเซลเซียส ก็อาจส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลงได้ทันที ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีแหล่งกำเนิดความร้อนที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้สอดคล้องกับความสามารถในการทำซ้ำของเครื่องสแกนเนอร์
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้หลอดกำเนิดแสงในช่วงอินฟราเรดใกล้ (NIR) ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิบนชิปมีความสม่ำเสมอที่ ±0.1 องศาเซลเซียส หลอดนี้สามารถถ่ายเทความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ต้องสัมผัสกับชิปโดยตรง สเปกตรัมของแสงถูกปรับให้เหมาะสม เพื่อให้ฟิล์มโฟโตเรซิสต์ดูดซับแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพ และไม่ทำให้วัสดุอื่นๆ ได้รับผลกระทบ วิธีนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ
หลอดนี้ถูกนำมาใช้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีเปลือกหุ้มที่ทำจากควอตซ์ และมีโครงสร้างที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีกระแสลมพัดอย่างสม่ำเสมอ เราตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีฝุ่นละอองเกิดขึ้น และหลอดนี้สามารถใช้งานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% เท่านั้น ดังนั้นจึงสามารถใช้งานได้ตลอด 24 ชั่วโมง
เหตุใดจึงได้ผลดี
ในกระบวนการลิโธกราฟี หลอด NIR สามารถแทนที่หลอดฮาโลเจนและหลอดที่ใช้คลื่นความถี่กลางได้ ทำให้เวลาการอบแห้งลดลง และค่าอุณหภูมิที่กำหนดก็ยังคงสม่ำเสมอตลอดกระบวนการอบแห้ง ความสามารถในการทำซ้ำของฟิล์มโฟโตเรซิสต์ก็ดีขึ้น เพราะเราสามารถให้ความร้อนกับฟิล์มโดยตรง ไม่ใช่กับส่วนประกอบอื่นๆ รอบๆ ฟิล์ม
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอด NIR สามารถถ่ายเทพลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ และไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนหลอดบ่อยๆ ซึ่งช่วยลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดได้ หลอดนี้สามารถนำมาใช้งานได้โดยตรง โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม เพราะมีมาตรฐานตรงตามมาตรฐานสากล
สิ่งที่ควรคำนึงถึง
หลอดกำเนิดแสงนี้จำเป็นต้องมีตัวควบคุมที่เหมาะสม หากใช้ตัวควบคุมแบบเปิด อุณหภูมิก็จะเปลี่ยนแปลงได้ ดังนั้นจึงไม่ควรใช้วิธีนี้ หลอดนี้ต้องมีเวลาในการอุ่นเครื่องเล็กน้อยก่อนที่จะสามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ และการติดตั้งก็ต้องทำให้หลอดอยู่ห่างจากพื้นผิวของชิปตามที่กำหนดไว้
เปลือกหุ้มที่ทำจากควอตซ์นั้นต้องได้รับการดูแลอย่างระมัดระวัง เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดความเสียหายจากไฟฟ้าสถิต เมื่อหลอดอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสม อุณหภูมิขณะอบแห้งก็จะคงที่ ทำให้ปริมาณวัสดุที่เสียหายลดลง และช่วยให้สามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพ