300 mm hatlarında, çizgi genişliğinin kontrolü, “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemlerine bağlıdır. Isıtma plakasındaki 2°C’lik bir sapma bile verimi hızla bozar. İhtiyacınız olan şey, sadece bir ısıtıcı değil; aynı zamanda tarayıcının tekrarlanabilirliğine uyum sağlayabilecek bir ısı kaynağıdır.
Teknik açıdan önemli olanlar Biz, waferin termal performansını ±0,1°C hassasiyetle kontrol edebilen bir yakın kızılötesi (NIR) ışık kaynağı kullanıyoruz. Bu ışık kaynağı, waferle temas etmeden hızlıca ısı yayarak ısınığı uzaklaştırır. Spektrum öyle ayarlanmıştır ki fotoresist maddesi ısıyı etkin şekilde emer ve substrat da zarar görmez. Böylece termal denge korunmuş olur.
Bu cihazler, Temiz Oda Sınıfı 1–100 ortamlarında kullanılır; kapalı kuvars kapsülü ve laminer akış içinde sabit kalabilen yapıya sahiptir. Yerinde partikül üretiminin olmadığından emin oluyoruz. Ayrıca bu lambalar 5.000 saatten fazla çalışabilir ve verimlilikleri %5’in altına düşmez; böylece 24/7 kesintisiz çalışma mümkün olur.
Neden işe yarıyor? Litografide, NIR ışık kaynakları geleneksel halojen ve orta dalga boyundaki ışık kaynaklarına alternatif olarak kullanılır. Pişirme süresi azalır ve hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerinde ayar noktalarının stabilitesi korunur. Fotoresist profillerindeki tekrarlanabilirlik artar, çünkü doğrudan filme ısı uygulanır, etrafındaki mekanik parçalar değil.
NIR ışık kaynakları verimli bir şekilde ısı aktarımı sağladığı için güç tüketimi azalır. Ayrıca lambaların sık sık değiştirilmesine gerek kalmaz; bu da planlanmayan duruş sürelerini azaltır. Uluslararası ekipman standartlarına uygun olduğundan, tüm sistemin yeniden değerlendirilmesine gerek yoktur.
Dikkat edilmesi gerekenler Işık kaynağının uygun sürücülere ve kapalı döngü kontrol sistemine sahip olması gerekir. Açık döngü kontrol kullanılırsa sonuçlar kötü olur; bunu denemeyin bile. Spektral stabiliteye ulaşmak için kısa bir ısınma süresi gereklidir ve montaj sırasında wafer yüzeyinden belirlenen mesafenin korunması gerekir.
Kuvars kapsülüne ESD’ye karşı koruyucu önlemler alınmalıdır. Eğer kapsül işlem penceresine göre doğru şekilde yerleştirilirse, pişirme profilleri stabil kalır, atık miktarı azalır ve bakım periyotları öngörülebilir hale gelir.