
Havanın ısınmasını beklemeyi bırakın: Neden altın kaplı IR lambalarını kullandık?
Eğer daha önce sıcak hava sistemleri kullandıysanız, işleyiş şeklini biliyorsunuzdur. Havadaki ısıyı artırıp, bu havanın ısının parçaya aktarılmasını umarsınız. Yarı iletkenlerin derin işlenmesinde ise bu aracı olan hava, her şeyi yavaşlatan bir faktördür. Bu durum, işlemlerin yavaşlamasına neden olur.
Biz bu aracı ortadan kaldırmaya karar verdik. Havadaki ısıyı artırmak yerine, altın kaplı iki tüplü lambalar kullanıyoruz. Bu lambalar, radyasyon enerjisini doğrudan parçaya yönlendirir. Beklemeye gerek yok; zaman kaybı da olmaz.
Sır, altında yatıyor
Standart kuvars tüpleri fena değil, ancak enerji sızdırırlar. Enerji, tüpün kenarlarından dışarı sızar. Bunu düzeltmek için dış tüpün iç kısmına altın kaplama yapıyoruz. Bunu bir ayna gibi düşünün; tüm kızılötesi radyasyonu doğrudan parçaya yönlendirir.
Ayrıca “çift tüp” özelliği de önemlidir. Küçük bir alanda iki filament kullanarak çok daha yüksek ısı yoğunluğu elde ediyoruz. Daha fazla güç elde etmek için lambayı daha uzun yapmanıza gerek yok; sadece daha akıllıca bir tasarım yapmanız yeterli.
Öğleden sonralarınızı boşa harcamayın
Sıcak hava sistemleri yavaştır. Sıcaklık ayarını değiştirdiğinizde, tüm odanın sıcaklığının uyum sağlamasını beklemek zorunda kalırsınız. Bu oldukça can sıkıcıdır.
IR lambaları ise anında tepki verir. Anahtarı çevirdiğiniz anda fotonlar hedefe ulaşır ve işlem başlar. Wafer veya hassas parçalarla çalışanlar için bu yöntem, işlem sürelerini %30 ila %60 oranında azaltır. Artık o sonsuz ısınma ve soğuma süreçleri yüzünden dakikalar kaybetmiyorsunuz.
Ancak bir dezavantaj var…
Bunu herhangi bir makineye takabileceğiniz sihirli bir çözüm değildir. Öncelikle, yüksek yoğunluktaki IR ışınları güç kaynağı üzerinde büyük baskı oluşturur. Kontrol cihazlarınızın bu ani yükü kaldırabildiğinden emin olmalısınız. Ayrıca, altın kaplamanın ısıyı odaklama konusundaki etkinliği nedeniyle, PID ayarları yanlış yapılırsa hedefin ötesine geçilebilir. Lamba ile parça arasındaki mesafe konusunda da dikkatli olmalısınız; hata yaparsanız sıcak noktalar oluşur.
Tavsiyem: Bunları bölgesel kontrol sistemleriyle bağlayın. Böylece ısı dağılımını daha iyi kontrol edebilirsiniz; bu da derin işlemler için gereklidir.