Litografi yumuşak pişirme ısıtma elemanı
300 mm boyutundaki üretim tesislerinde “yumuşak pişirme” işlemi bir ısınma işlemi değildir. Bu, kritik boyut kontrolünün ilk aşamasıdır. Wafer...
Yarı iletken litografi fırın lambası
7x24 çalışan bir tesisatte, foto dirençlerin ısıtılması sadece basit bir adım değildir. Bu işlem, işe yarar bir desen elde etmek ile kullanılamaz...
ASML litografi lambası yedek parçası
Üretim alanında, her bir üretim partisi için gerekli olan termal parametreler önceden belirlenmiştir. Eğer lambanın verimi değişirse veya fırın...