Trên dây chuyền sản xuất có độ phân giải 300mm, việc kiểm soát độ rộng của các đường nét được quyết định bởi quá trình nung ấm “mềm” và “cứng”. Chỉ cần sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong khu vực nung ấm cũng có thể làm giảm tỷ lệ sản phẩm tốt. Bạn cần một nguồn nhiệt có khả năng duy trì độ ổn định tương đương với độ chính xác của máy quét – chứ không chỉ là một thiết bị sưởi thông thường.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng bóng đèn phát ánh sáng hồng ngoại gần (NIR), giúp kiểm soát nhiệt độ trên bề mặt wafer với độ chính xác ±0,1°C. Ánh sáng này truyền nhiệt nhanh chóng, mà không cần tiếp xúc trực tiếp với wafer. Bước sóng ánh sáng được điều chỉnh sao cho lớp phim phản ứng tốt với ánh sáng, trong khi bề mặt wafer không bị ảnh hưởng. Điều này giúp kiểm soát tốt lượng nhiệt được truyền vào wafer.
Bóng đèn này được lắp đặt trong môi trường phòng sạch loại 1–100: vỏ bằng thạch anh được đóng kín, và cấu trúc của nó được thiết kế để hoạt động hiệu quả trong môi trường dòng khí tĩnh. Chúng tôi kiểm tra xem có sự xuất hiện của các hạt bụi hay không; bóng đèn có thể hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ với mức suy giảm công suất dưới 5%. Nhờ đó, máy móc có thể hoạt động 24/7.
Tại sao nó lại hiệu quả? Trong quy trình in ấn, bóng đèn NIR thay thế được các nguồn sáng halogen hoặc sóng trung bình truyền thống. Thời gian nung ấm giảm đi, và độ ổn định của nhiệt độ được duy trì trong suốt cả quá trình nung ấm “mềm” và “cứng”. Độ chính xác trong việc điều chỉnh nhiệt độ cũng được cải thiện, vì nhiệt được truyền trực tiếp vào lớp phim, chứ không phải vào các bộ phận xung quanh nó.
Mức tiêu thụ điện năng cũng giảm đi, vì bóng đèn NIR truyền nhiệt hiệu quả. Việc thay thế bóng đèn cũng ít xảy ra hơn, từ đó giảm thời gian ngừng hoạt động không mong muốn. Thiết bị này có thể được sử dụng ngay lập tức, vì nó tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế – không cần phải kiểm tra lại toàn bộ hệ thống.
Những điều cần lưu ý Bóng đèn cần được kết hợp với bộ điều khiển phù hợp và hệ thống kiểm soát khép kín. Nếu sử dụng hệ thống kiểm soát mở, nhiệt độ sẽ không ổn định. Cần có thời gian khởi động ngắn để đạt được độ ổn định về mặt phổ ánh sáng; việc lắp đặt cũng cần tuân thủ khoảng cách quy định so với bề mặt wafer.
Vỏ bằng thạch anh cần được xử lý cẩn thận để tránh tổn thương do tĩnh điện. Khi bóng đèn được lắp đặt đúng vị trí, độ ổn định của quá trình nung ấm sẽ được đảm bảo, lượng sản phẩm hỏng giảm, và chu kỳ bảo trì cũng trở nên dễ dự đoán hơn.