如何更换RTP加热灯泡

在晶圆厂车间，RTP 腔体灯不会以“烟花爆炸”的方式失效。它的表现形式是光刻胶轮廓漂移、关键尺寸扩散范围变宽，以及热预算突然偏离工艺配方。温度的不确定性会迅速累积，批次接连受影响。更换灯泡不是一项简单的维护检查，而是过程控制的重要环节。 关键在于匹配：灯光光谱、功率密度和腔体几何结构。我们采用短波...