一种更有效的MEMS晶圆干燥方法（无需浪费能源） 说实话，传统的MEMS晶圆干燥方式效率极低。无论是使用对流烤箱还是旋转式干燥器，都意味着要在等待中浪费大量能源。这种方式既缓慢又浪费资源，而且已经过时了。 我们找到了更好的方法。与其整个空间都加热来干燥晶圆，不如采用短波红外加热技术。这种技术不同于...

别再为加热设备的内壁而浪费能源了——应该把热量集中到晶圆上。 大多数普通加热元件都是向各个方向散发热量。在晶圆加工设备中，这显然是个大问题。因为大部分热量并没有真正作用于晶圆上，而是被设备的内部结构吸收掉了。这样一来，设备的内壁就会变得非常热，这无疑是一种能源的浪费。更糟糕的是，这种情况还会带来安...

如何利用红外线正确地固化氢气传感器 在制造氢气传感器时，热量控制是一个关键问题。这些传感器的薄膜极为敏感，如果粘合剂或导电浆料的固化过程出现偏差，那么那些昂贵的材料就只能被当作废品处理了。 因此，我们选择使用短波红外线加热器。与其试图加热整个房间里的空气——这既浪费时间又效率低下——不如直接对传感...

别再把设备变成“烤箱”了！ 有没有过这样的经历：你触碰到半导体设备的表面时，因为其表面温度极高而立刻缩手？这种情况很常见。人们试图加热设备内部，但热量并没有被引导到应有的地方，而是全部被设备的外壁吸收了。这不仅令人沮丧，而且对操作人员来说也构成了安全隐患。 事实上，大多数红外线灯都是向四周散发热量...

在光刻工艺中，软烘烤和硬烘烤阶段正是确定光刻胶参数的关键时期。温度变化2摄氏度，就可能导致Ttop值变化20纳米，而这种变化会体现在不同批次产品中的线宽差异上。因此，必须要有能够精确测量、重复检测并追踪温度变化的控制系统。 核心要点 我们设计的精密红外传感器采用了稳定的近红外光源以及经过校准的探测...