掺杂激活红外加热器

在线上，晶圆正等待加热以锁定掺杂轮廓。一个冷点，一次温度漂移，激活效果就会不足。结点位置发生偏移。良率在晶圆进入蚀刻或光刻前就下降了。在高产能工厂中，这一次热波动可能导致整个班次报废。 我们设计的掺杂激活红外加热器正是为了消除这类风险。目标很明确：实现可重复的晶圆级温度控制，均匀性严格，并确保洁净...