将热量精准地传递到需要的地方：镀金红外发射器 如果你从事半导体晶圆加工工作，那么你一定知道，能源的浪费不仅仅是成本问题，还会带来诸多麻烦。当红外发射器工作时，大部分热量都会向后方散失，无法被用于加热晶圆，从而白白浪费了能量。 我们通过使用镀金反射器和高品质陶瓷端盖来解决这个问题。这样，能量就能被引...

在300毫米光刻线路上，线条宽度的控制取决于“软烘烤”和“硬烘烤”这两个工序的质量。如果加热区域的温度偏差达到2摄氏度，那么产品的良率就会立刻下降。因此，需要一个能够与扫描仪的精度相匹配的热源——而不仅仅是一个简单的加热器而已。 从技术层面来看，关键点在于： 我们使用近红外光源，其热量分布均匀性可...