더 이상 글로브박스를 오븐처럼 사용하지 마세요.
半導体 제조에 글로브박스를 사용해본 사람이라면 그 불편함을 잘 알 것입니다. 공정을 진행하기 위해서는 내부가 뜨거워야 하지만, 일반적인 히터는 공기 전체를 가열할 뿐입니다. 그 결과 내벽이 엄청나게 뜨거워집니다. 이는 작업자에게 치명적일 수 있으며, 센서도 손상될 수 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방향성 적외선 가열입니다.
핵심은 공기를 가열하는 대신, 적외선 램프가 에너지를 직선으로 방출한다는 점입니다. 에너지는 램프에서 직접 부품으로 전달됩니다. 공기나 캐비닛의 벽은 거의 영향을 받지 않습니다. 따라서 원하는 부분에만 열이 전달되고, 나머지 부분은 시원하게 유지됩니다. 이제는 장비의 측면에 닿기만 해도 화상을 입을 걱정은 하지 않아도 됩니다.
적절한 파장을 선택하는 데 많은 시간이 필요합니다. 보통는 단파 적외선을 사용합니다. 이렇게 하면 에너지가 스테인리스 스틸 벽에 반사되는 것이 아니라 목표물에 직접 닿게 됩니다. 그래서 ‘뜨거운 벽’ 문제가 발생하지 않습니다.
하지만 이 방법도 모든 상황에 완벽한 해결책은 아닙니다. 열이 너무 집중되기 때문에 급격한 온도 변화가 생깁니다. 부품의 형태가 복잡하다면 차가운 부분이 생길 수 있습니다. 또한, 이 램프들을 함부로 설치할 수 없으며, 정확한 위치에 설치해야 합니다.
마지막으로, 전력 관련 문제도 있습니다. 고출력 적외선 램프는 많은 전류를 소모합니다. 만약 배선이나 컨트롤러가 이에 버티지 못한다면 릴레이가 손상될 수 있습니다.
그래도 설정을 제대로 한다면 효과적입니다. 가속화된 작업 속도를 얻을 수 있으며, 공정도 안정적으로 유지됩니다. 게다가 장비의 외부도 시원하게 유지됩니다. 그렇게 되면 작업 공간도 더 안전해집니다.