Stop met het opwarmen van de wanden van uw apparaat (en begin in plaats daarvan de wafers op te warmen)
De meeste standaardverwarmingselementen sturen energie in alle richtingen. In een apparaat voor het verwerken van wafers is dat een groot probleem.
Denk er eens over na: het merendeel van die hitte raakt de Wafer zelfs niet. De hitte dringt alleen maar door tot in de binnenwanden van het apparaat. Hierdoor ontstaan “hete wanden”, wat een enorme verspilling van energie is. Bovendien is dit een gevaar voor de veiligheid. Niemand wil dat een operateur zich brandt, alleen omdat hij of zij in het apparaat moet reiken.
Hoe u de hitte daadwerkelijk kunt beheersen
Wij lossen dit op door gebruik te maken van gerichte infrarode (IR)-lampen. In plaats van gewoon een kwartsbuis te gebruiken, maken we gebruik van reflectoren en speciale coatingen om de hitte precies waar nodig te dirigeren.
Doordat het lichtbundeltje wordt gefocust, raakt de hitte alleen de oppervlakte van de wafer. De hitte dringt niet door naar het chassis.
Als u merkt dat de behuizing van uw apparaat te heet wordt om aan te raken, dan stralen uw lampen waarschijnlijk te veel hitte uit. Dat is een duidelijk teken dat de hitte ontsnapt.
Het lastige gedeelte
Het is geen situatie waarin u het apparaat gewoon kunt instellen en vergeten. Gerichte verwarming vereist precisie.
Als de lamp maar een paar millimeter verschuift, ontstaan er koude plekken op de wafer. Het systeem is namelijk zeer gevoelig.
Bovendien moet u de reflectoren in de gaten houden. Na verloop van tijd kunnen ze oxideren of vies worden. Dan begint het lichtbundeltje weer te verspreiden, waardoor de wandtemperaturen weer stijgen.
Het maken van het apparaat veiliger en eenvoudiger
Het mooie aan deze systemen is dat de koelventilatoren minder belast raken. Omdat er geen grote hoeveelheden hitte in het apparaat terechtkomen, blijft de lucht veel koeler.
Ik raad altijd aan om deze lampen te combineren met sensoren die de oppervlakte van de wafer in de gaten houden, en niet alleen de lucht eromheen. Op deze manier blijven de onderdelen van het apparaat koel, terwijl u toch het exacte temperatuurniveau hebt dat nodig is voor het proces. Simpel.