为何我们选择使用防水型红外灯来进行半导体工件干燥
在半导体的清洗阶段，我们的首要目标就是尽快去除晶圆上的水分，同时确保不会留下任何污渍。 长期以来，人们一直使用热风对流式干燥设备。但实际上，加热大量空气是一种浪费资源的方式——这种方式效率低下，设备也显得笨重，还会消耗大量能源。因此，我们转而使用防水型红外灯。这是一种更为高效的处理方式。 关键在于热量密度 我们使用高强度短波红外灯，因为它们不会干扰空气流动，而是直接将能量传递到晶圆表面。这样一来，就无需等待空气变热了。这些石英管能在几秒钟内达到所需温度，效率非常高。由于升温速度极快，因此无需让设备持续处于高功率运行状态。 处理“潮湿”环境的问题 显然，清洗环境本身就是潮湿的。如果使用普通红外灯，它很快就会损坏或氧化。这显然不是理想的解决方案。 为避免这种情况，我们会密封电极，并使用特殊的石英外壳来隔绝湿气。这样可以防止灯具在潮湿环境中被损坏。 不过，有一点需要注意：不能简单地用塑料把灯泡包起来就算解决了问题。必须确保密封性的同时，还能让热量顺利散发出去。这种涂层可能会改变光线的光谱，因此我们需要花费大量时间来调整波长，确保能量能够穿透晶圆表面的水膜，而不至于损坏晶圆本身。 让工厂更环保 放弃传统对流式烘干设备后，工厂的整体环境会大为改善。不再需要那些庞大的鼓风机和复杂的管道系统。减少了硬件设备，自然也就减少了能源消耗。整个系统变得更加简洁高效。 不过，有一点需要提醒：如果您打算用红外灯替换旧式的空气干燥器，那就不能直接插电使用。因为这些灯在启动时需要消耗大量电流。您可能需要检查电路，并升级断路器，以避免每次加热时都导致停电。