حفظ گرمای ویفرها: حقیقت درباره استفاده از گرمایش مادون قرمز برای واگنهای حمل و نقل
اگر تجربه کار در کارخانههای تولید نیمههادی را داشته باشید، میدانید که حمل و نقل ویفرها چقدر دشوار است. حفظ دمای ثابت در حین جابجایی این مواد، کاری بسیار پیچیده است. هر اشتباهی میتواند منجر به شوک حرارتی یا آلودگی شود؛ در نتیجه، بازدهی تولید کاهش خواهد یافت.
برای مدت طولانی، از فرهای هوایی برای گرم کردن ویفرها استفاده کردهایم. اما باید صادق باشیم: این فرها ناکارآمد هستند و انرژی زیادی را هدر میدهند. اگر واقعاً میخواهیم به خنثی شدن انتشار گازهای گلخانهای برسیم، باید از گرم کردن هوا دست برداریم و به جای آن، مستقیماً قسمت مورد نظر را گرم کنیم. اینجاست که گرمایش مادون قرمز وارد عمل میشود.
گرم کردن در جای مناسب
مزیت گرمایش مادون قرمز این است که انرژی مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود و در آنجا میماند. این انرژی به هوای اطراف سرایت نمیکند؛ بنابراین سیستم تهویه مطبوع نیازی به کار بیشتر برای خنک کردن اتاق ندارد.
همچنین، این روش بسیار سریع است. نیازی نیست منتظر بمانید تا فر درست کار کند؛ کافی است کلید را فعال کنید و آماده استفاده باشید.
جزئیات مربوط به مواد
در اتاقهای تمیز، نمیتوان از هر مادهای برای ساخت واگنهای حمل و نقل استفاده کرد. ما از لولههای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا مواد معمولی میتوانند تجزیه شوند یا گاز تولید کنند. در دنیای ما، حتی یک ذره گرد و غبار نیز میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند.
همچنین، لامپها را نیز با روکشهای خاصی پوشاندهایم تا طیف انتشار انرژی تنظیم شود. این کار باعث میشود که گرما فقط روی ویفر متمرکز شود و فریم واگن آسیب نبیند.
و چون اغلب لامپها خراب میشوند، ما از اتصالات استاندارد استفاده میکنیم. وقتی یک لامپ در حین کار خراب میشود، تکنسینها میتوانند به راحتی لامپ جدیدی را جایگزین کنند؛ نیازی به تعمیر کل سیستم نیست.
یک مشکل
مشکل اینجاست که این میزان بالای انرژی، مستلزم وجود سیستمهای مناسب برای کنترل حرارت است. اگر فریم واگن به درستی عایقبندی نشده باشد، گرما وارد فریم خواهد شد؛ در نتیجه، فریم دچار تغییر شکل خواهد شد. بنابراین، باید نقطه تعادل مناسبی بین میزان انرژی مورد نیاز و توانایی فریم در تحمل آن پیدا کرد.