בקו הייצור, התקן התרמי עבור כל סדרת ייצור נקבע מראש. אם עוצמת האור של הנורה משתנה או טמפרטורת החימום סוטה מהערך הרצוי, השליטה בממדים החיוניים נפגעת –...

On the lithography floor, a soft bake that’s even a few degrees off can send critical dimensions drifting across the wafer. The heater isn’t just...