Cara yang Lebih Efisien untuk Mengeringkan Wafer MEMS (Tanpa Pemborosan Energi)
Sejujurnya, cara konvensional untuk mengeringkan wafer MEMS merupakan proses yang membutuhkan waktu lama. Baik menggunakan oven konveksi maupun metode pengeringan berputar, pada dasarnya kita hanya perlu menunggu sementara energi yang banyak terbuang sia-sia. Proses ini lambat, boros energi, dan sudah ketinggalan zaman.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan wafer, kami menggunakan teknik pemanasan inframerah gelombang pendek (SWIR). Ini merupakan pendekatan yang berbeda; alih-alih memanaskan udara, kami fokus pada molekul-molekul air itu sendiri. Dengan demikian, kelembapan akan hilang dengan cepat.
Fisikanya sebenarnya cukup menarik.
Dalam proses pembuatan MEMS, kita perlu menjaga keseimbangan antara panas yang diperlukan untuk mengeringkan wafer dan panas yang berlebih yang bisa merusak wafer tersebut. Lampu IR yang kami gunakan memiliki panjang gelombang yang sangat spesifik, sehingga mampu menembus lapisan air tipis yang tersisa setelah proses etching.
Karena tidak ada pemborosan energi akibat pemanasan udara di dalam ruangan, konsumsi energi pun berkurang secara signifikan. Ini tentu merupakan keuntungan bagi waktu produksi dan juga bagi lingkungan.
Sekarang, mari kita bicara tentang perangkat kerasnya.
Lampu-lampu ini dibuat menggunakan filamen halogen dan tabung kuarsa berkualitas tinggi. Hasilnya? Panas yang dihasilkan langsung mencapai wafer dengan cepat.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: lampu-lampu ini tidak boleh disambungkan ke rangkaian listrik biasa. Intensitas dayanya sangat tinggi. Jika Anda mencoba meningkatkan daya terlalu tinggi, hal tersebut akan menyebabkan masalah, seperti dampak termal atau “titik panas” yang dapat merusak struktur MEMS.
Untuk menjaga keamanan, diperlukan sistem kontrol yang ketat. Kami biasanya merekomendasikan penggunaan kontroler PID yang dikombinasikan dengan piranometer yang responsnya cepat. Hal ini akan membantu menjaga suhu tetap stabil dan mencegah masalah yang tidak diinginkan.
Mengoperasikannya (dan menjaganya tetap dalam kondisi baik)
Yang terbaik adalah bahwa lampu-lampu ini bisa digunakan sebagai pengganti lampu biasa. Kami menggunakan konektor standar, sehingga Anda tidak perlu menghabiskan waktu berhari-hari untuk memodifikasi koneksi listriknya.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: ruang bersih sangat berpengaruh pada kondisi perangkat keras. Uap kimia dapat merusak tabung kuarsa. Kami menggunakan kaca yang tahan terhadap serangan kimia, tetapi Anda tetap perlu memperhatikan kondisi tabung tersebut agar tidak kotor. Jika tabungnya kotor, transfer panas akan terganggu, dan efisiensi energi pun akan menurun. Pastikan optiknya tetap bersih, agar tujuan pembuatan “pabrik hijau” Anda tetap dapat tercapai.