製造現場では、各露光ロットにおける熱的条件は厳密に定められています。もしランプの出力が変動したり、焼成温度が不安定になったりすると、重要な寸法制御が失われ、生産が停止してしまいます。ASMLのリソグラフィーランプの予備部品は、ソフトベイクやハードベイクの過程でも熱的条件を安定させるように設計されて...

リソグラフィ工程では、ソフトベークの温度が数度ずれるだけで、ウェハ上のクリティカルディメンションにばらつきが発生する。ヒーターは単に熱を加えるだけでなく、熱予算を管理している。予備部品が故障すると、不良がマップに現れる前から歩留まりが低下し始める。 技術的に重要なポイント 半導体装置用スペアヒータ...