近赤外線 NIR 発光球

300mmラインにおいては、線幅の制御はソフトベイクやハードベイクの段階で決まります。ホットプレート領域の温度が2℃だけ変動しても、製品の歩留まりはすぐに悪化してしまいます。必要なのは、スキャナーの再現性に合わせた熱源であり、単なるヒーターでは不十分です。 技術的に重要な点 私たちは近赤外線...