ウェーハ処理装置用温度センサー

工具の内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。ウェーハ加工用の装置では、これは大きな問題です。 考えてみてください：その熱の大部分はウェーハには届いていないのです。単に装置の内壁に吸収されてしまうのです。その結果、装置の内...