余計なことは省きましょう。私たちは、自社製のハロゲン加熱ランプをあなたの生産ラインに直接設置し、他社の製品と実際に競わせてみたいのです。華やかなパンフレットの約束ではなく、実際の運用データをご覧いただきます。 これらのランプは、半導体製造装置の心臓部とも言えるもので、300mmウェーハの処理におい...

リソグラフィ工程では、ソフトベークの温度が数度ずれるだけで、ウェハ上のクリティカルディメンションにばらつきが発生する。ヒーターは単に熱を加えるだけでなく、熱予算を管理している。予備部品が故障すると、不良がマップに現れる前から歩留まりが低下し始める。 技術的に重要なポイント 半導体装置用スペアヒータ...