余計なことは省きましょう。私たちは、自社製のハロゲン加熱ランプをあなたの生産ラインに直接設置し、他社の製品と実際に競わせてみたいのです。華やかなパンフレットの約束ではなく、実際の運用データをご覧いただきます。
これらのランプは、半導体製造装置の心臓部とも言えるもので、300mmウェーハの処理において迅速かつ正確に加熱を行うために設計されています。高度な堆積やエッチング工程で必要とされる高い熱耐性を持ち、安定性と迅速な応答性が不可欠です。
出力と適合性：要点を押さえて 高圧電源を使用することで、クリーンルームで要求される高い出力密度を実現しています。400Vの入力で2500Wの出力が得られ、フィラメントがすばやく作動温度に到達します。また、管の長さは300mmで、標準的なチャンバーの形状にぴったり合います。この適切なサイズにより、熱損失を抑え、必要な場所での温度管理が容易になります。
材料とその重要性 石英管には、高い内部圧力に耐え、繰り返しの使用にも耐える特別なコーティングが施されています。短波赤外線により、エネルギーが素早く基板に伝達されます。R7sコネクタは、安全で高電流に耐える接続を実現し、配線やメンテナンスが簡単です。その結果、ソケットや取り付け部品を変更することなく、ランプを交換してすぐに作業を再開できます。
実際の性能：予算を把握しながらの高速化 ファブでは、これらのランプがサイクルタイムを短縮するための高い出力密度を提供します。迅速な応答性により、最も重要な工程での温度制御が可能になります。しかし、2500Wのランプを400Vで動かすと多くの熱が発生します。そのため、チャンバーの冷却機能が十分であることが重要です。周囲の温度を適切に管理し、周辺の部品を保護する必要があります。これが、高速な加熱性能を得るための代償です。
私たちはその性能に自信を持っていますが、実際に見てみないと意味がありません。最も厳しい生産環境を持ち込んでください。私たちが数値を比較し、実際の運用データでその性能を証明します。