근적외선(NIR) 방출기 전구

300mm 공정에서는 선의 굵기를 제어하는 데 있어 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’ 단계가 매우 중요합니다. 히트플레이트 영역의 온도가 2°C만 변동해도 생산성에 큰 타격을 줍니다. 따라서 단순한 히터가 아니라, 스캐너의 반복성에 맞출 수 있는 열원이 필요합니다....