공장 건조 공정의 에너지 점검
왜 더 이상 낭비된 에너지를 쓰는가? 반도체 건조에 IR을 활용하자
대부분의 공장에서는 여전히 전통적인 방식을 사용합니다. 웨이퍼 위에 뜨거운 공기를 불어넣고 그냥 기다리는 것입니다. 사실상 수분이 스스로 증발하기를 기다리는 것이죠.
이 방식은 매우 느리고 비효율적입...
에너지 절약형 반도체 히팅
왜 우리가 전통적인 오븐 대신 적외선을 사용하는가?
솔직히 말해서, 전통적인 대류식 오븐은 이제 구시대의 유물에 가깝습니다. 최근에는 적외선을 이용한 가공 방식이 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 그 이유는 세계가 친환경적이고 납이 없는 제품을 선호하기 때문입니다....
에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열하는 것은 정말 위험한 일입니다. 연료성 용매와 증기들이 있기 때문에, 조금만 방심해도 폭발할 수 있습니다. 그런 환경에서 일반적인 적외선 램프를 사용하는 것은 위험할 뿐만 아니라 재앙을 초래할 수도 있습니다. 작은 스파크나 과열된...