반도체 기계 예비 부품 히터

리소그래피 작업장에서는 소프트 베이크 온도가 심지어 몇 도만 벗어나도 웨이퍼 상의 중요한 치수가 흔들릴 수 있다. 히터는 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 열 예산을 관리하는 역할을 한다. 예비 부품이 고장 나면, 불량이 맵에 나타나기도 전에 수율이 떨어지기 시작한다...