리소그래피용 소프트 베이크 가열 요소

300mm 공정 라인에서의 소프트 베이크는 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 치명적인 오차를 방지하기 위한 첫 번째 단계입니다. 웨이퍼의 온도가 2°C만 변해도 CD 값이 나노미터 단위로 변하게 되며, 그로 인해 전체 로트의 품질이 저하될 수 있습니다. 따라서 가열...