도펀트 활성화 적외선 히터

라인 상에서 웨이퍼는 도펀트 프로파일을 고정하기 위한 열처리를 기다리고 있다. 하나의 냉점, 하나의 온도 편차만으로 활성화가 부족해진다. 접합부가 이동한다. 웨이퍼가 에칭이나 리소그래피 단계에 진입하기도 전에 수율이 떨어진다. 대량 생산 팹에서는 단 하나의 열 이상...