RTP 히터 램프 교체 방법

Role 공장 바닥에서 RTP 챔버 램프는 폭죽처럼 갑자기 고장 나지 않는다. 대신 포토레지스트 프로파일의 이동, 넓어진 임계 치수 분포, 그리고 갑자기 레시피를 벗어난 열 예산으로 나타난다. 온도 불확실성은 빠르게 누적되어 로트가 쌓일수록 심해진다. 램프 교체는 단...