화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열하는 것은 정말 위험한 일입니다. 연료성 용매와 증기들이 있기 때문에, 조금만 방심해도 폭발할 수 있습니다. 그런 환경에서 일반적인 적외선 램프를 사용하는 것은 위험할 뿐만 아니라 재앙을 초래할 수도 있습니다. 작은 스파크나 과열된 부품만으로도 큰 문제가 생길 수 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 가열 요소를 공기에 노출시키는 대신, 밀폐된 구조 안에 넣어두는 것입니다.
유해한 물질의 침입 방지 먼저 적외선 요소를 고순도 석영 유리로 감싸줍니다. 그 다음, 그 전체를 화학물질에 저항력이 있고 폭발 방지 기능이 있는 커버 안에 넣습니다. 이는 마치 갑옷과 같아서, 전기와 유해한 화학물질 사이에 물리적인 장벽을 만들어줍니다. 이렇게 하면 부식성 증기가 배선이나 가열 필라멘트에 닿는 것을 막을 수 있습니다.
또한, 강한 세척제에도 견딜 수 있는 가스켓을 사용합니다. 만약 밀폐가 실패한다면, 램프는 즉시 고장납니다. 그래서 우리는 고압 상황에서도 작동할 수 있는 램프를 만듭니다. “충분하다”는 것으로는 충분하지 않습니다.
압력 속에서도 안정적인 작동 단파 적외선은 웨이퍼를 빠르게 가열할 수 있다는 장점이 있습니다. 하지만 단점도 있습니다. 열을 밀폐된 튜브 안에 가두면 압력이 생깁니다. 우리는 램프가 자체적으로 손상되지 않도록 와트数를 신중하게 조절해야 합니다.
그리고 단순한 온/오프 스위치는 사용하지 마세요. 정밀한 PID 컨트롤러가 필요합니다. 시스템은 지속적으로 전력을 조절하여 화학물질의 인화점보다 훨씬 낮은 온도를 유지해야 합니다. 이 모든 것은 섬세한 제어가 필요합니다.
타협점 물론, 완벽한 것은 없습니다. 보호층을 추가하면 약간의 열 저항이 생깁니다. 그래서 일반 램프에 비해 열 전달이 조금 느려집니다.
하지만 이것은 큰 문제는 아닙니다. 목표 온도에 도달하기 위해 더 높은 와트수의 램프를 사용하면 됩니다. 다만, 환기가 잘 되도록 해야 합니다. 아무리 밀폐가 잘 되어 있더라도, 램프 주변에 증기가 고이는 것을 막아야 합니다.