IR 램프용 알루미늄 반사체
열을 낭비하지 마세요: 금 도금된 반사체가 왜 중요한가
웨이퍼 처리에 적외선 램프를 사용할 때 고성능 반사체를 사용하지 않는다면, 사실상 에너지의 절반을 낭비하는 셈입니다. 이는 간단한 문제입니다. 램프는 양쪽 방향으로 에너지를 방출하기 때문입니다. 그 열을 다시 웨...
IR 방사체용 세라믹 엔드캡
실제로 열이 필요한 곳에 더 많은 열을 전달하기 위해: 금으로 코팅된 IR 방출기
반도체 웨이퍼를 다룬다면, 에너지를 낭비하는 것이 단순히 비용 문제가 아니라 심각한 문제라는 것을 알고 있을 것입니다. IR 방출기를 사용할 때, 발생하는 열의 상당 부분이 목표 지점에...
웨이퍼용 고정밀 적외선 센서
리소그래피 공정에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계에서 포토레지스트의 특성이 결정됩니다. 온도가 2°C만 변해도 Ttop 값은 20nm나 변할 수 있으며, 이러한 변동은 전체 웨이퍼에 걸쳐 선폭의 변화로 나타납니다. 따라서 정확하게 측정하고 반복적으로 확인할 수...