열을 낭비하지 마세요: 금 도금된 반사체가 왜 중요한가
웨이퍼 처리에 적외선 램프를 사용할 때 고성능 반사체를 사용하지 않는다면, 사실상 에너지의 절반을 낭비하는 셈입니다. 이는 간단한 문제입니다. 램프는 양쪽 방향으로 에너지를 방출하기 때문입니다. 그 열을 다시 웨이퍼 쪽으로 보내는 방법이 없다면, 공장 내부의 공기만 뜨거워질 뿐입니다.
그래서 여기서 금 도금된 알루미늄이 필요합니다.
왜 금인가? (그냥 광택 처리된 알루미늄은 안 되나?)
광택 처리된 알루미늄도 나쁘지는 않습니다. 일정 수준의 성능은 발휘합니다. 하지만 장파 적외선 영역에서는 알루미늄의 성능이 떨어집니다. 반면 금은 훨씬 더 효율적으로 적외선 에너지를 반사합니다.
물론, 전체를 금으로 만드는 것은 비현실적입니다. 그 대신, 정밀하게 가공된 알루미늄 기반 위에 금을 도금합니다. 이렇게 하면 알루미늄의 가벼운 느낌과 함께 금의 우수한 성능을 얻을 수 있습니다. 결과적으로 반사체는 열을 흡수하지 않고, 그 열을 원래 있어야 할 곳으로 다시 반사해줍니다.
열을 필요한 곳으로 보내기
중요한 것은 재료뿐만 아니라 형태도 중요합니다. 포물선이나 타원형과 같은 형태를 조절함으로써, 적외선을 웨이퍼의 특정 부분에 집중시킬 수 있습니다. 이것이 바로 램프의 출력을 높이지 않고도 목표 온도에 빠르게 도달할 수 있는 비결입니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 너무 세게 집중시키면 과열될 수 있습니다. PID 컨트롤러가 그러한 상황을 처리할 수 없다면, 웨이퍼의 가장자리가 손상될 수도 있습니다. 균형을 잘 맞춰야 합니다.
실제 사용 및 청소 시 주의사항
이러한 반사체들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 정밀하게 가공되어 있어서, 시스템이 고속으로 작동할 때도 움직이지 않습니다.
하지만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 금은 섬세한 재료입니다. 오일이나 화학물질이 표면에 달라붙으면 반사율이 떨어지고, 결국 에너지가 낭비됩니다. 그러니 절대로 거친 세제를 사용하지 마세요. 부드러운 세정제를 사용해야 합니다. 조심하지 않으면, 곧 새로운 반사체를 구입해야 할 것입니다.