洁净室设备升级中

在生产线上行走时，就能感觉到当烘焙过程出现异常时会发生什么。光阻层的厚度会发生变化，CD均匀性也会受到影响，而生产线则只能处理废品，无法生产出合格的产品。在洁净室中进行的设备升级并非只是表面上的改进，其目的是为了更好地控制温度，缩小工艺窗口，从而确保设备能够稳定运行。 从技术角度来说，最重要的是什...