半导体机械备件加热器

在光刻车间 即使是几度的软烘烤偏差也会导致关键尺寸在晶圆上漂移。加热器不仅仅是在加热——它是在执行热预算。当备件出现故障时，良率开始下降，而缺陷甚至还未在图上显示出来。 技术上的重要性 在为半导体机械备件制造加热器时，我们将一切都基于可重复的温度控制。在实践中，这意味着在烘烤板上晶圆级的热均匀性在...