利用红外加热技术减少芯片制造过程中的碳排放 在半导体生产过程中，精确控制温度至关重要。虽然需要一定的热量，但绝不能让任何灰尘或气体分子破坏晶圆的质量。 长期以来，人们通常使用对流式烤箱来加热。但说实话，为了加热一小块硅片而让整个房间都处于高温状态，那无疑是一种巨大的能源浪费。这就好比为了加热一片披...

在洁净室中正确使用红外线固化技术 如果你在半导体洁净室工作，那么你一定知道其中的挑战：有些部件需要被烘干或固化，但你又不能使用大型加热器，也不能随意使用化学溶剂。这时，红外线灯便派上了用场。 与通过强制对流来加热整个房间不同，这些红外线灯能够将能量精准地输送到需要加热的位置。这种方式更加高效，尤其...

在生产线上行走时，就能感觉到当烘焙过程出现异常时会发生什么。光阻层的厚度会发生变化，CD均匀性也会受到影响，而生产线则只能处理废品，无法生产出合格的产品。在洁净室中进行的设备升级并非只是表面上的改进，其目的是为了更好地控制温度，缩小工艺窗口，从而确保设备能够稳定运行。 从技术角度来说，最重要的是什...

在300mm线体上，烘烤温度漂移0.5°C将导致关键尺寸（CD）控制失效，废品率上升。在Class 1–100级洁净室中，加热器产生的一个颗粒就足以报废一个芯片。我们设计的洁净室红外加热器旨在消除这两种失效模式。 技术关键点 我们采用短波红外发射器，实现快速、直接的能量传递，并保持整个烘烤区的晶圆...