MEMS传感器晶圆干燥加热器

一种更有效的MEMS晶圆干燥方法（无需浪费能源） 说实话，传统的MEMS晶圆干燥方式效率极低。无论是使用对流烤箱还是旋转式干燥器，都意味着要在等待中浪费大量能源。这种方式既缓慢又浪费资源，而且已经过时了。 我们找到了更好的方法。与其整个空间都加热来干燥晶圆，不如采用短波红外加热技术。这种技术不同于...