半导体洁净室推车式加热器

保持晶圆的温度：关于使用红外加热技术的真相 如果您曾在半导体工厂工作过，想必都明白运输晶圆时所带来的麻烦。在移动晶圆的过程中，如何保持其温度稳定是一大挑战。一旦处理不当，就可能导致晶圆出现热冲击或污染，进而降低生产效率。 长期以来，人们一直依赖对流式烤箱来加热晶圆。但说实话，这类设备效率低下，还会...