保护晶圆的安全：关于介电性能的重要事实 在加热硅晶圆时，哪怕出现一点点失误都是不可接受的。哪怕只是微小的电弧或绝缘层出现破损，都可能带来严重后果——不仅会损坏加热元件，还会毁掉晶圆本身；如果运气不好，甚至还会让控制器板也遭殃。正因如此，我们才会将介电强度视为至关重要的指标。 我们会对每一盏灯进行测...

一种更有效的MEMS晶圆干燥方法（无需浪费能源） 说实话，传统的MEMS晶圆干燥方式效率极低。无论是使用对流烤箱还是旋转式干燥器，都意味着要在等待中浪费大量能源。这种方式既缓慢又浪费资源，而且已经过时了。 我们找到了更好的方法。与其整个空间都加热来干燥晶圆，不如采用短波红外加热技术。这种技术不同于...

别再为加热设备的内壁而浪费能源了——应该把热量集中到晶圆上。 大多数普通加热元件都是向各个方向散发热量。在晶圆加工设备中，这显然是个大问题。因为大部分热量并没有真正作用于晶圆上，而是被设备的内部结构吸收掉了。这样一来，设备的内壁就会变得非常热，这无疑是一种能源的浪费。更糟糕的是，这种情况还会带来安...

让我们来谈谈晶圆固化用反射镜的电气安全问题吧。 晶圆固化灯需要承受极高的温度。在为这类灯具设计反射镜时，我们不仅要考虑光线的传播方向，还要确保电路的绝缘性。因为一旦绝缘层出现故障，就容易引发电弧现象。这可不是小问题——它足以毁坏设备，甚至让整批晶圆报废。 为什么我们要对每一盏灯都进行测试？ 在每盏...

如何在不引发爆炸的情况下加热晶圆 说实话， 在进行化学清洗时加热晶圆是一件非常危险的事情。因为此时我们正在处理易燃的溶剂和蒸汽，它们随时都可能发生爆炸。在这种环境下使用普通的红外灯不仅危险，还会带来严重后果。哪怕只有一个小火花，或者灯具过热，都可能引发灾难。 我们找到了更好的方法： instead...

在光刻工艺中，软烘烤和硬烘烤阶段正是确定光刻胶参数的关键时期。温度变化2摄氏度，就可能导致Ttop值变化20纳米，而这种变化会体现在不同批次产品中的线宽差异上。因此，必须要有能够精确测量、重复检测并追踪温度变化的控制系统。 核心要点 我们设计的精密红外传感器采用了稳定的近红外光源以及经过校准的探测...

在生产线上，阻焊层干燥并非简单的工序——它实际上是一个关乎产品良率的关键环节。如果温度出现波动或均匀性不佳，就会导致边缘部分无法充分干燥，从而产生缺陷，而这些缺陷往往要等到产品包装之后才会显现出来。我们设计的阻焊层干燥模块能够实现对晶圆层面的精确控制，确保整个工艺过程能够按照既定标准进行，而不是靠...