节能晶圆加热器

如何在不引发爆炸的情况下加热晶圆 说实话， 在进行化学清洗时加热晶圆是一件非常危险的事情。因为此时我们正在处理易燃的溶剂和蒸汽，它们随时都可能发生爆炸。在这种环境下使用普通的红外灯不仅危险，还会带来严重后果。哪怕只有一个小火花，或者灯具过热，都可能引发灾难。 我们找到了更好的方法： instead...