半導体製造工場において、熱を適切な場所に留めることが重要です。高出力の赤外線ランプは、莫大な量の熱を放出します。半導体製造工場では、そのエネルギーはウェーハに当たるためだけに使われます。それ以外の用途はありません。 もし、その熱を制御しなければ、熱が機械の内部に広がってしまいます。すると、内部の部...

なぜ無駄な努力を続けるのか？半導体乾燥にIR加熱を採用しよう。 ほとんどのファブの乾燥ラインでは、依然として昔ながらの方法が使われている。つまり、ウェハーの上に熱風を送り込んで、その水分が自然に蒸発するのを待つだけだ。これは非常に効率の悪い方法だ。時間も手間もかかり、実際にウェハーが温まる前に、エ...

装置を加熱するのをやめよう：半導体製造装置を効率的に加熱する方法 ほとんどの赤外線ヒーターは、あらゆる方向に熱を放つため、かなり手間がかかります。つまり、360度全方位に熱が放出されるのです。狭い半導体製造装置内で作業を行う場合、これは大きな問題です。エネルギーが無駄に消費され、装置の内壁が過度に...

なぜ、すべての部品をテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 高品質な製造工場では、わずかな電気的漏れだけで大惨事につながります。ちょっとした火花が発生するだけで、大量のウェーハがダメになったり、何百万ドルもする装置が破壊されたりします。まさに悪夢のような状況です。 だからこそ、私たちは「サ...

半導体の乾燥処理におけるIR硬化技術について話しましょう。 半導体を乾燥させる際には、微妙なバランスを取る必要があります。正確な温度管理が求められますが、わずかなほこりや化学物質がウェーハに触れないようにしなければなりません。 そのため、私たちは赤外線（IR）を利用しています。赤外線は熱風を送るの...

その素晴らしい装置を使って作業を行えば、ベイクプレートがレシピ通りに動かない時の状況が感じられます。フォトレジストの分布が乱れ、CDの均一性も悪化し、工程は良品の生産ではなく、不良品の処理に費やされてしまいます。クリーンルーム内の機器のアップグレードは、単なる見た目の改善ではありません。それは、熱...