なぜ無駄な努力を続けるのか？半導体乾燥にIR加熱を採用しよう。 ほとんどのファブの乾燥ラインでは、依然として昔ながらの方法が使われている。つまり、ウェハーの上に熱風を送り込んで、その水分が自然に蒸発するのを待つだけだ。これは非常に効率の悪い方法だ。時間も手間もかかり、実際にウェハーが温まる前に、エ...

なぜ私たちはオーブンを使わずにIR硬化法を採用するのか？ 正直に言えば、従来の対流式オーブンはもう時代遅れです。最近では、世界が「グリーン」で無鉛化されていく中、IR硬化法への移行が加速しています。もし世界的な環境基準を満たしたいのであれば、昔のやり方ではもう十分ではありません。 物理的な理由とし...

ウェーハを加熱する際に爆発を起こさない方法 正直に言って、化学的な洗浄の際にウェーハを加熱するのは非常に危険です。扱うのは可燃性の溶剤や蒸気であり、いつ爆発してもおかしくない状態です。そのような環境で通常の赤外線ランプを使用するのは危険すぎます。ほんの少しの火花や、装置が過度に熱くなるだけで、大災...