省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハを加熱する際に爆発を起こさない方法 正直に言って、化学的な洗浄の際にウェーハを加熱するのは非常に危険です。扱うのは可燃性の溶剤や蒸気であり、いつ爆発してもおかしくない状態です。そのような環境で通常の赤外線ランプを使用するのは危険すぎます。ほんの少しの火花や、装置が過度に熱くなるだけで、大災...