ウェーハを安全に守るために：誘電体の信頼性についての真実 シリコンウェーハを加熱する際には、どんな小さなミスも許されません。わずかな電気アークや絶縁体の破損は、単なる問題ではありません。それによって加熱素子が破壊され、ウェーハもダメになります。運が悪ければ、コントローラーボードまでも破壊されてしま...

より効率的なMEMSウェーハの乾燥方法（エネルギーの無駄遣いを防ぐ） 正直に言って、従来のMEMSウェーハの乾燥方法は非効率的です。対流式オーブンを使おうと回転式乾燥機を使おうと、結局は大量のエネルギーが無駄に消費されてしまいます。時間がかかり、エネルギーも無駄になり、時代遅れの方法です。 私たち...

工具の内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。ウェーハ加工用の装置では、これは大きな問題です。 考えてみてください：その熱の大部分はウェーハには届いていないのです。単に装置の内壁に吸収されてしまうのです。その結果、装置の内...

ウェーハ硬化用の反射器における電気的安全性について話しましょう。 ウェーハ硬化用のランプは、非常に高い温度にさらされます。このような装置用の反射器を作るとき、私たちは単に光がどこに行くかだけを考えるわけではありません。電気的な絶縁性も同様に重要です。 実際、絶縁が失われるとアークが発生します。これ...

ウェーハを加熱する際に爆発を起こさない方法 正直に言って、化学的な洗浄の際にウェーハを加熱するのは非常に危険です。扱うのは可燃性の溶剤や蒸気であり、いつ爆発してもおかしくない状態です。そのような環境で通常の赤外線ランプを使用するのは危険すぎます。ほんの少しの火花や、装置が過度に熱くなるだけで、大災...

リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベイクとハードベイクの段階でフォトレジストのパターンが決定されます。2°Cの温度変動だけで、Ttopの値は20nmも変わってしまいます。このような変動が、ワーク全体にわたって線幅のばらつきとして現れます。したがって、測定可能で、再現性があり、追跡可能な温度制御が...

実際には、ソルダーマスクの乾燥というのは単なる形式的な工程ではありません。これは、歩留まりに直接影響を与える重要なプロセスです。温度が不安定になったり、均一性が失われたりすると、端部分に滴りができたり、乾燥が不十分になったりし、最終的にはパッケージングの段階で欠陥が発生します。私たちのソルダーマス...