リソグラフィー用ソフトベイク加熱素子

300mmファブのラインでは、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、パターンの寸法制御において最も重要な工程なのです。ウェハーの温度が2℃変動するだけで、パターンの寸法がナノメートル単位で変わってしまい、その結果、大量のウェハーが不良品になってしまいます。そのため、加熱...