IR加熱を利用したチップ製造における二酸化炭素削減 半導体の製造には、正確な制御が不可欠です。適切な温度が必要ですが、わずかなほこりやガス分子でさえもウェーハを損傷させてはいけません。 長年にわたり、対流式のオーブンが使われてきました。しかし正直なところ、小さなシリコン片を温めるためだけに部屋全体...

その素晴らしい装置を使って作業を行えば、ベイクプレートがレシピ通りに動かない時の状況が感じられます。フォトレジストの分布が乱れ、CDの均一性も悪化し、工程は良品の生産ではなく、不良品の処理に費やされてしまいます。クリーンルーム内の機器のアップグレードは、単なる見た目の改善ではありません。それは、熱...