スパークの心配はやめよう：化学処理エリアでの赤外線ヒーターのより良い使い方 もし、化学物質を処理するラインで赤外線ヒーターを使用しているなら、その危険性はよくご存知でしょう。可燃性の蒸気が存在するため、わずかなスパークやクォーツチューブの微細なひび割れだけで大惨事につながります。とても危険な作業環...

300mmラインにおいては、線幅の制御はソフトベイクやハードベイクの段階で決まります。ホットプレート領域の温度が2℃だけ変動しても、製品の歩留まりはすぐに悪化してしまいます。必要なのは、スキャナーの再現性に合わせた熱源であり、単なるヒーターでは不十分です。 技術的に重要な点 私たちは近赤外線...