RTPヒーターランプの交換方法

Role ファブフロア上で、RTPチャンバーのランプは突然の故障を派手に示すわけではない。フォトレジストのプロファイルのずれ、クリティカルディメンションのばらつき拡大、さらにはレシピから外れた熱予算として現れる。温度の不確かさはロットを重ねるごとに急速に積み重なる。ランプ交換は単なる保守項目ではな...